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TiO2 and Co multilayer thin films via DC magnetron sputtering at room temperature Artículos académico

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Resumen

  • En este trabajo, multicapas de películas delgadas de TiO2 y Co fueron preparadas mediante el método de pulverización catódica con magnetrón de DC, en sustratos de (100) GaAs y (100) de Si. La potencia (TiO2 y Co), el tiempo de deposición de las capas y la presión durante la deposición se mantuvieron constantes. De las mediciones de XRD, Raman e IR, se identificaron la formación del rutilo y fases de Co triclínico. Se llevó a cabo un proceso de recocido in situ en todas las muestras y posterior a la etapa de deposición durante 2 h. El sustrato utilizado fue oblea de GaAs y Si, favoreciendo la formación y crecimiento de las fases encontradas. La difusión e interdifusión de las capas en las películas delgadas se determinó a partir de la espectroscopía de retrodispersión de Rutherford (RBS). En particular, se observó el asocio del Co y el Ga después del proceso de recocido según los perfiles de profundidad. Debido interdifusión de las capas, la contribución magnética no es significativa en la bicapa. Las curvas I-V de la bicapa Co/TiO2 mostraron la presencia de
    conmutación resistiva. Una correlación entre los parámetros de síntesis y la
    las propiedades físicas de las multicapas se reportan aquí.

Área temática

  • Fin de la pobreza

autores

  • http://research-hub.urosario.edu.co/ontology/vlocal#ExcludedPerson
    A. Dussan
  • http://research-hub.urosario.edu.co/ontology/vlocal#ExcludedPerson
    Carlos Busó-Rogero
  • http://research-hub.urosario.edu.co/ontology/vlocal#ExcludedPerson
    F. Mesa
  • http://research-hub.urosario.edu.co/ontology/vlocal#ExcludedPerson
    Heiddy P. Quiroz
  • http://research-hub.urosario.edu.co/ontology/vlocal#ExcludedPerson
    M. Manso-Silván
  • http://research-hub.urosario.edu.co/ontology/vlocal#ExcludedPerson
    P. Prieto

Publicado en

  • Materials Characterization Revistas

fecha de publicación

  • marzo 30, 2020

Identidad

Identificador de objeto digital (DOI)

  • https://doi.org/10.1016/j.matchar.2020.110293

Información adicional de documento

Número de páginas

  • 6

Página inicial

  • 1

Última página

  • 6

Volumen

  • 163